㈜유니밴스

PROBE CARD 의 정의

반도체 제작공정중 FAB단계를 거쳐 완성된 WAFER내 개별 CHIP의 전기적인 특성검사를 하기 위해
사용 되는 TEST INTERFACE SOLUTION
(동작을 검사하기 위하여 반도체 칩과 테스트 장비를 연결하는 장치).

| DETAIL |

WAFER에 집적된 특정 DEVICE의 Chip Pad 위치와 동일하게 Probe Card Needle을 구성하여 제작되며,
Chip Pad 와 TESTER 간에 상호 전기적인 신호전달을 가능하게 하는 INTERFACE Solution 제품으로,
MAIN TESTER에 장착되어 개별 CHIP의 동작유무를 선별하게 해주는 WAFER 검사장치

Needle SPIDER

Probe Card (TESTER Side)

Probe Card (WAFER Side)

PROBE CARD 사용용도

MEMORY TEST Probe Card : Memory / Flash Memory Test
Non MEMORY TEST Probe Card : DDI / ASIC / MICOM Device TEST

| TESTER Platform |

ADVANTEST	T3324 / T5331 / T5335 / T5365 / T5381 / T5385 / T6371(ND1) / T6372(ND2) / T6373(ND3) / T6391(ND4)
ADVANTEST	T6535 / T7313 / T5375 / T5377 / T2000
TERADYNE	IP750 / J750 / Micro FLEX / Integra FLEX / Ultra FLEX / Tiger / Catalyst / A575 / A585
TERADYNE	J995 / J996 / J997 / ETS364
CREDENCE	DUO-Quartet / OCTET / LT KALOS / KALOS-XW / SC212-312 / ASL3000 / DIMOND-10 / SAPPHIRE
VERIGY(HP)	HP4062 / HP4071-2 / HP83K / HP93K / HP94K
VERSA	VERSA1000 / VERSA2000 / VERSA3300 / VERSA4400 / VERSA 5400
YOKOGAWA	TS6700-A / TS6700-B / TS6700-C / ST6730 / AL6050
MOSAID	MOSAID 3440 / MOSAID 3480 / MOSAID 3485 / MOSAID 4205
TI	VLCT 8” / VLCT 12” / RASP
KEITHLEY	S600 / S900
Etc.	MAVERICK / ITS9000 / HITACHI 5060 / API-PRVX1,2,3 SYSTEM